勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
勻膠機(jī)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)的操作說明:
(1)選擇合適的專用吸附盤(略小于樣本尺寸),將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘安裝,吸附盤安裝時(shí)一定要插入到底。
?。?)開啟電源,進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置頁面??煞謩e設(shè)置三個(gè)階段轉(zhuǎn)速和時(shí)間,按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時(shí)間,點(diǎn)擊“確定”。
?。?)進(jìn)入啟動(dòng)儀器界面,放片,要注意放正。打開真空泵,點(diǎn)擊“吸盤”后點(diǎn)“啟動(dòng)”,儀器開始運(yùn)行。轉(zhuǎn)速和運(yùn)行階段以及當(dāng)前階段剩余時(shí)間可在顯示屏上實(shí)時(shí)觀察。
(4)滴膠,動(dòng)作要快。在第一階段運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間內(nèi)滴膠完畢,關(guān)上上蓋;隨時(shí)間推移自動(dòng)運(yùn)行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后,安全開關(guān)啟動(dòng),必須等到儀器停止運(yùn)行,上蓋才能被打開。
?。?)電機(jī)停轉(zhuǎn)后,點(diǎn)擊脫盤,吸片停止。打開上蓋,取下片子。
(6)繼續(xù)勻膠時(shí)重復(fù)以上步驟。
(8)勻膠結(jié)束后,關(guān)上上蓋,切斷電源。